基于静压气浮导轨的直线电机高性能工作台的研制_百度文库
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基于静压气浮导轨的直线电机高性能工作台的研制
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外形尺寸：25mm-200mm
描述：圆形平板气浮垫　NEW WAY 圆形平板气浮轴承可便捷的用来定制气浮平台。这些轴承非常适合高负载应用，并且是最容易融入...
[陕西省 西安市]
外型尺寸：50mm 75mm 90mm
描述：真空预压气浮轴承　NEW WAY 真空预压气浮轴承结合使用气压及真空，从导轨上浮起并同时吸附在导轨面上。可通过分别对真...
[陕西省 西安市]
外型尺寸：13mm-75mm
描述：气浮轴承套　NEW WAY 空气轴承应用于标准精度钢轴，并且可以直接与多数滚动原理的轴套互换，一旦更换完成，这些部件将...
[陕西省 西安市]
供货总量：1000件&&&|&&&功能：位置伺服
描述：气浮导轨　气浮导轨作为运动机械的一部分，通常与伺服驱动，传感器组成闭环系统，实现位移的高精度，高分辨率。　...
描述：北京航星联合科技可为客户提供高刚度、高扭转刚度、高承载矩形导轨，可以提供快速定制服务。　采用国内外领先的不堵塞设计，出...
描述：北京航星联合科技可为客户提供高刚度、高扭转刚度、高承载矩形导轨，可以提供快速定制服务。　采用国内外领先的不堵塞...
描述：航星联合公司提供大型气浮板，也可承接修理、改造、新建大、中、小型空气轴承平台。　主要用途：1）LCD玻璃检测生产线、2...
供货总量：200台
描述：ABLS系列运动平台是星微科技一款面向高精度、高端应用市场的气浮直线平台。凭借研发团队在材料、设计、分析方面的专业技术对平台整体...
[江苏省 无锡市]
描述：北京航星联合科技有限公司运用航天陀螺生产中形成的工艺和设计方法，形成了空气轴承（air-bearing）及成套装置的研制生产...
供货总量：200台
描述：LGS系列运动平台是星微科技一款面向中低端市场、性价比极高的精密运动定位台，通过研发团队不断优化材料及工艺使平台的平面度、直线度...
[江苏省 无锡市]
描述：气浮垫属于单向空气轴承，结构简单便于组合使用，但是在载荷很小时承载刚度较弱，无法单独使用，因此诞生了一种产品：真空载荷空气轴...
最小起订量：1件&&&|&&&供货总量：100件
描述：ABL2000气浮平台　1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计　2运动超平滑,速度稳定性突出　3直线编码器或激光干涉...
描述：源自航天技术，实力雄厚　我公司运用航天陀螺生产中形成的工艺和设计方法，形成了气浮轴承及气动成套装置的研制生产能力。在气...
描述：北京牧风科技有限公司是一家具有核心研发实力和自主知识产权，专注研发与生产空气轴承、气浮导轨、气浮主轴等高精度气浮设备的高科技...
供货总量：10件&&&|&&&控制方式：闭环
描述：气浮平台　高精度直线电机，音圈电机气浮平台，多轴气浮精密平台，在工作中要求达到亚微米级的运动精度，。直线电机气...
描述：北京牧风科技有限公司是一家具有核心研发实力和自主知识产权，专注研发与生产空气轴承、气浮导轨、气浮主轴等高精度气浮设备的高科技...
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供货总量：1000件&&&|&&&功能：位置伺服
描述：音圈电机是一种特殊形式的直接驱动电机。具有结构简单、体积小、高速、高加速、响应快等特性。其工作原理是，通电线圈（导体）放在磁...
控制方式：闭环
描述：高精度直线电机，音圈电机气浮平台，多轴气浮精密平台，在工作中要求达到亚微米级的运动精度，。直线电机气浮精密运动平台，对气浮导...
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采用国内外领先的不堵塞设计，出厂前已调整到最佳状态，不出现气振、适应国内 气源、运动可靠、可维修。根据需要，中间方规材料可以是：1)特种铝合金、2)花岗岩、3)钢材
品牌:ABL ;型号:各种型号 ;滑行轨迹:直线导轨 ;种类:滑动导轨
1.00 元/台
供应精密光学设备用音圈电机具有结构简单、体积小、高速、高加速、响应快等特性其工作原理通电线圈(导体) 放在磁场内就会产生力, 力的大小与施加在线圈上的电流成比例. 音圈电机运动形式可以为直线或者圆弧。我们可以根据客户要求定制相应的音圈电机！
气浮转台（空气转台）是设法把主轴在空气中悬浮起来，并可以稳定地高精度地旋转， 这种悬浮是轴承腔内导入的压力空气来实现的，泄压的缝隙极小，保证了转动轴的悬浮。高速度，高精确度；无摩擦力；无磨损；
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99999.00 元/台
高精度直线电机，音圈电机气浮平台，多轴气浮精密平台，在工作中要求达到亚微米级的运动精度,。直线电机气浮精密运动平台, 对气浮导轨设计、直线电机控制等关键技术进行了研究.
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直线电机驱动的H型气浮导轨运动平台
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H-type air-bearing motion stage driven by linear motors
建立了双边直线电机驱动的H型气浮精密定位平台,对该精密定位系统的气浮导轨设计方法和双边直线电机同步运动控制等关键技术进行了研究.利用有限元法设计了气浮导轨,分析了气膜压力场的分布情况,采用预加载技术提高气浮导轨的承载能力和刚度等性能.静态特性实验表明,开发的定位平台气浮导轨具有较高的承载能力和刚度,X、Y导轨的竖直方向静刚度为276.9 N/μm和333.3 N/μm.设计了基于同步速度偏差的改进型并联结构同步控制器,采用模糊控制实现PID参数的自适应在线整定.运动实验表明,改进的控制器具有较高的同步控制精度,速度同步精度比一般同步控制提高了3倍多,适合于具有强机械耦合的多电机同步运动控制.H型直线电机气浮定位平台具有承载能力强、精度高的优点,可以用于光刻机和光学检测等精密工程领域.标&&&&签
中图分类号
TH133.35 TP273 &
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国家自然科学基金资助项目(No.)
修改稿日期
网络出版日期
作者单位点击查看备注刘强(1963-),男,湖南人,工学博士,北航机械工程及自动化学院教授,博士研究生导师,主要研究方向为高性能运动系统设计与控制、数控加工仿真优化与虚拟加工、微机电系统制造技术.作者简介：张从鹏(1975-),男,河南人,工学博士,北方工业大学讲师,主要研究方向为高精度运动平台设计、建模、分析及控制,数控技术.E-mail:
引用该论文:
刘强,张从鹏.&H-type air-bearing motion stage driven by linear motors[J].&Optics and Precision Engineering,&):&刘强,张从鹏.&直线电机驱动的H型气浮导轨运动平台[J].&光学 精密工程,&):&被引情况:【1】【2】【3】【4】【5】【6】
共有人对该论文发表了看法，其中：
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人认为该论文较好
人认为该论文很好
参考文献【1】孙麟治,李鸣鸣,程维明.精密定位技术研究[J].光学精密工程,):69-75.SUN L ZH,LI M M,CHENG W M.Study on precision positioning technique[J].Opt.Precision Eng.,):69-75.(in Chinese)&【2】张从鹏,刘强.基于静压气浮导轨的直线电机高性能工作台研制[J].机械科学与技术,):.ZHANG C P,LIU Q.Development of high-performance linear motor stage based on static-pressure air-bearing slider[J].Mechanical Science & Technology,):.(in Chinese)&【3】陶家生.闭式双排节流孔矩形气浮导轨的计算方法[J].光学精密工程,):55-61.TAO J SH.Calculation method of rectangle closed air bearing slider with double row orifices[J].Opt.Precision Eng.,):55-61.(in Chinese)&【4】刘暾,刘育华,陈世杰.静压气体润滑[M].哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,1990.LIU T,LIU Y H,CHEN SH J.Static Pressure Gas Lubrication[M].Harbin:Harbin Industry University Press,1990.(in Chinese)&【5】马明建,辛世界,王辉林,等.静压式平面空气轴承压力场的有限元分析[J].农业机械学报,):91-97.MA M J,XIN SH J,WANG H L,et al..Finite element analysis of static plane air bearing pressure field[J].Transaction of the Chinese Society for Agriculture Machinery,):91-97.(in Chinese)&【6】孙西芝,陈时锦,程凯.空气静压导轨静态性能的解析计算及分析[J].机械设计与制造,):40-42.SUN X ZH,CHEN SH J,CHENG K.An analytic method calculation and analysis of the aerostatic guide way[J].Machinery Design & Manufacture,):40-42.(in Chinese)&【7】翁秀华.双直线电机同步控制的研究[D].沈阳工业大学,2005.WONG X H.Study on synchronous control of dual linear motors[D].Shenyang Industry University,2005.(in Chinese)&【8】翁秀华,郭庆鼎,刘德君.基于模糊自适应PID的双直线电机同步驱动系统控制[J].组合机床与自动化加工技术,):28-29.WONG X H,GUO Q D,LIU D J.Based-on fuzzy self-adaptive PID synchronous drive of dual linear motors system[J].Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique,):28-29.(in Chinese)&【9】黄峰,汪岳峰,顾军,等.模糊参数自整定PID控制器的设计与仿真研究[J].光学精密工程,):235-239.HUANG F,WANG Y F,GU J,et al..Design and simulation study of fuzzy parameter self-tuning PID controller[J].Opt.Precision Eng.,):235-239.(in Chinese)&【10】年海威.双直线电机伺服系统同步进给控制的研究[D].沈阳工业大学,2006.NIAN H W.Study on synchronous control of dual linear motors servo system[D].Shenyang Industry University,2006.(in Chinese)&【11】节德刚,刘延杰,孙立宁,等.一种宏微双重驱动精密定位机构的建模与控制[J].光学精密工程,):171-178.JIE D G,LIU Y J,SUN L N,et al..Modeling and control of a macro-micro dual-drive ultra precision positioning mechanism[J].Opt.Precision Eng.,):171-178.(in Chinese)&
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中国激光杂志社版权所有 && (C) 中国 上海 嘉定 2011.3大理石超精密量具气浮道轨机构 - 北京丰台木樨园建材 - 百姓网
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超精密加工不仅仅要&&有超精密的回转运动,而且要有超精密的直线运动.实现直线运动超精密导轨的具体结构有滚动导轨、静压导轨、气垫导轨等形式,与其它形式的导轨相比,花岗石气垫导轨具有摩擦力小、不磨损、运动平稳、精度高、几乎没有热变形等优点,其缺点是刚度低和承载小.但由于超精密加工切削力极小,通常为0.5~1kgf,此缺点表现不突出,故花岗石气浮导轨得到了广泛应用.
如以超精密镜面车削机床为例,其花岗石气浮导轨应用在刀具滑板上.滑板具有一平面导轨和&V& 形导轨,设计时不仅要计算气膜刚度,而且要计算气垫块的结构刚性.在加工与装配时,其接触面应精密配研,平面气垫块在装配前应研磨,V形气垫是在装配球面支撑座后,装在滑板下与V形导轨配研.研磨后再将气垫浸渗至气膜厚度设计值.研磨剂采用Perchloroethylene.在设计时应有高灵敏度的压力传感器,当气压低于气垫所需的压力时 应自动关机来保护导轨.在设计气源时,必须经过过滤水、油、空气中的大粒度的灰尘,同时应 对过滤后空气进行干燥处理和温控处理,以达到精密和超精密加工的要求.
更多的大理石平台、大理石精密量具销售信息尽在：/。类似 建材 信息55元&/&安亿铁艺装饰公司10元&/&个人8元&/&个人55元&/&北京东方鹏辉塑胶地板公司1·元&/&鸿盛门业1元&/&鸿盛门业10元&/&北京富海源电动门窗中心面议元&/&富海源电动门窗中心5元&/&解经理35元&/&北京市水电材料供应&/&北京顺心顺发门窗有限公司59元&/&北京世纪耐德科技有限公司45元&/&柳经理300元&/&北京家具厂50元&/&王杰面议元&/&柳经理8元&/&北京鸿宇伟业涂装工程队1元&/&北京金宏达技术有限公司元&/&北京防雨建材公司188元&/&弘扬北京精神,山东团队精进技艺为您设计美好装修宏图该用户其他信息14年6月7日&门头沟 - 门头沟周边200元&/&其他用品14年6月7日&石景山 - 八大处3000元&/&布艺饰品14年6月7日&海淀 - 海淀周边20000元&/&其他14年6月7日&朝阳 - 国贸5000元&/&推拉门14年6月7日&丰台 - 木樨园200元&/&快速卷帘门14年6月7日&昌平 - 南口80000万元&/&其他&/&其他14年6月7日&石景山 - 古城200元&/&其他相机配件14年6月7日&西城/宣武 - 广安门200元&/&生活日用14年6月7日&朝阳 - 国贸8000元&/&其他14年6月7日&朝阳 - 太阳宫300元14年6月7日&通州 - 土桥200元&/&莱芜市鲁江经贸有限公司14年6月7日&海淀 - 海淀周边200元&/&其他14年6月7日&海淀 - 海淀周边200元&/&其他14年6月7日&昌平 - 霍营300元&/&柜橱架子14年6月7日&怀柔 - 杨宋2000元&/&其他14年6月7日&房山 - 房山城关30000元&/&锅炉14年6月7日&平谷 - 熊儿寨200元&/&铝酸钙水泥14年5月16日&大兴 - 旧宫2000元&/&高温氧化铝14年5月16日&密云 - 十里堡镇2000元&/&锅炉14年5月16日&延庆 - 延庆城区300元&/&护栏板14年5月16日&丰台 - 丰台周边2000元&/&仪器仪表14年5月16日&平谷 - 平谷镇10元&/&土工格栅14年5月16日&昌平 - 龙泽20元/次&/&14年5月16日&门头沟 - 门头沟周边环氧玻璃布板14年5月16日&房山 - 房山周边100元14年5月16日&门头沟 - 门头沟周边200元&/&保温泡沫14年5月16日&密云 - 十里堡镇3000元&/&仪器仪表14年4月2日&密云200元&/&油品14年4月2日&门头沟 - 门头沟周边3000元&/&护栏14年4月2日&延庆 - 延庆周边2000元&/&仪器仪表14年4月2日&顺义太阳能支架14年4月2日&延庆收割机14年4月2日&房山&/&护栏14年4月2日&平谷&/&锅炉14年4月2日&密云 - 密云周边&/&其他14年4月2日&延庆龙柏14年4月2日&怀柔&/&14年4月2日&顺义&/&防裂贴14年4月2日&通州樱花14年4月2日&丰台 - 花乡2000元&/&其他14年4月2日&密云石油催化裂化加氢及氢气制备14年3月10日&门头沟 - 大峪龙柏14年3月10日&门头沟 - 门头沟周边石油催化裂化加氢及氢气制备14年3月10日&门头沟 - 永定200元/次&/&14年3月10日&丰台 - 木樨园200元&/&塑料排水板14年3月10日&丰台 - 木樨园100元&/&塑料排水板14年3月10日&门头沟 - 大峪红叶碧桃14年3月10日&房山 - 窦店行吊14年3月10日&怀柔 - 雁栖300000元&/&发电设备14年3月10日&怀柔 - 雁栖80000元&/&工程机械14年3月10日&怀柔 - 雁栖200元&/&工程机械14年2月11日&房山 - 窦店椭圆封头14年2月11日&丰台 - 岳各庄14年2月11日&门头沟 - 永定200元/次&/&14年2月11日&丰台 - 木樨园300元&/&土工格栅14年2月11日&怀柔 - 雁栖300元&/&仪器仪表14年2月11日&西城/宣武 - 西四14年2月11日&通州 - 运河大街70000元&/&其他14年2月11日&大兴 - 旧宫元&/&护栏板14年2月11日&顺义 - 马坡30000元&/&锅炉14年2月11日&房山 - 长阳200元&/&铝酸钙水泥14年1月17日&昌平 - 回龙观元&/&聚丙烯纤维网14年1月17日&昌平 - 回龙观300000元&/&发电设备14年1月17日&大兴 - 西红门起重机制造14年1月17日&西城/宣武 - 广安门3000元&/&其他14年1月17日&顺义 - 顺义周边14年1月17日&石景山 - 鲁谷14年1月17日&密云 - 十里堡镇元&/&泰安泡沫14年1月17日&平谷 - 滨河300元&/&苗木14年1月17日&门头沟 - 门头沟周边泰安钻床14年1月17日&延庆 - 延庆城区3000元&/&其他14年1月7日&海淀 - 八里庄100元&/&其他14年1月7日&密云 - 密云周边300元&/&其他14年1月7日&怀柔 - 桥梓泰安锅炉厂14年1月7日&朝阳 - 望京200元&/&苗木14年1月7日&延庆 - 延庆城区500元&/&苗木14年1月7日&丰台 - 花乡200元&/&其他14年1月7日&昌平 - 城南泰安锅炉厂14年1月7日&怀柔 - 桥梓泰安锅炉厂14年1月7日&怀柔 - 怀柔周边1000元&/&其他14年1月7日&西城/宣武 - 西直门3000元&/&其他14年1月7日&石景山 - 八大处300元&/&其他14年1月7日&通州 - 新华大街40000元14年1月7日&门头沟 - 门头沟周边80000元14年1月7日&密云 - 穆家峪200元13年11月3日&密云1000元&/&床/床垫13年11月3日&通州100元/次&/&13年11月3日&西城/宣武1000元&/&其他13年11月3日&朝阳100元&/&苗木13年11月3日&大兴200元&/&苗木13年11月3日&丰台100元&/&苗木
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