靶材的结晶取向对四大溅射靶材公司过程有什么影响

大部分资料来源于网络,仅供大家参考学习,版权归原作者。若有侵权,敬请留言告知,本人会及时删除侵权文档,谢谢!

}

——宁波江丰电子材料股份有限公司副总经理王学泽专访

众所周知,溅射靶材是制造半导体芯片所必需的一种极其重要的关键材料,具有金属镀膜的均匀性、可控性等诸多优势,被广泛应用于半导体领域。随着半导体行业的迅速发展,对溅射靶材的需求越来越大,已成为半导体工业的战略性关键材料,是我国半导体产业发展的重大需求所在。但是长期以来,我国的溅射靶材完全依赖美国、日本进口,不仅限制了我国电子材料及半导体行业的发展,更影响到国家半导体信息产业及战略安全。

宁波江丰电子材料股份有限公司是2005年由海外高层次归国留学人员创建的一家高科技企业,专业从事集成电路制造用超高纯金属材料及溅射靶材的研发与生产。经过9年的创业历程,江丰电子已经进入快速发展的轨道,销售年平均增长速度达70%以上,目前已成为国内材料最齐全、工艺最完整、设备能力最强、产能最大的超高纯金属材料及溅射靶材生产基地,产品覆盖了半导体芯片制造、平板液晶显示及薄膜太阳能电池用高端物理气相沉积工艺(PVD)用材料,填补了我国在这一领域的技术及产业空白,打破了我国集成电路制造业同类产品长期依赖进口的局面。在今年的IC China展会期间,本刊记者有幸采访了该公司副总经理王学泽先生,让我们共同一睹江丰成功历程。

王副总非常自豪的引领本刊记者参观了展台上的各种靶材展品,同时介绍说,“江丰电子是国家科技部、发改委及工信部重点扶植的高新技术企业,先后承担了国家02重大专项、国家863重大专项、发改委高技术产业化项目、工信部电子发展基金等国家级科研及产业化项目,总投资额已超过6亿人民币。公司核心团队由多名海外归国博士组成,并引进了多名美籍、日籍专家,掌握世界最前沿的溅射靶材研发、制造及市场信息,形成了在同行中具有国际影响力的创业团队。”

经过多年的艰苦创业,江丰已成为中国电子材料产业的领军企业,其电子产品也成功进入国际主流半导体制造企业,被美国、日本、欧洲、韩国、东南亚等国际主流半导体公司认可,并得到批量生产采用。截至目前,公司的超高纯金属靶材产品已经全面打入台积电、IBM、中芯国际等一流集成电路制造企业,销售网络覆盖亚、欧、北美几百家客户,彻底填补了我国在这一领域的技术及产业空白,结束了美、日对相关行业的垄断。

拥有完整自主知识产权和核心技术,并且屡获殊荣

溅射靶材是制造半导体芯片所必需的一种极其重要的关键材料,其原理是采用物理气相沉积技术(PVD),用高压加速气态离子轰击靶材,使靶材的原子被溅射出,以薄膜的形式沉积到硅片上,最终形成半导体芯片中复杂的配线结构。因为涉足的是高端技术领域,所以江丰电子十分注重技术研发及人才培养。据王副总介绍,江丰拥有完整自主知识产权和核心技术,在中国系统地建立了这一行业的知识产权保护体系。2009年、2011年产品两次荣获“中国半导体创新产品和技术奖”,2012年公司的300m硅片工艺用Al、Ti、Cu、Ta靶材产品荣获“国家战略性创新产品”,

江丰电子还有一个制胜的“法宝”,那就是企业领军人物——董事长姚力军博士,2009年入选国家“千人计划”创业人才,是世界范围内掌握超高纯金属及溅射靶材关键技术的著名专家之一。

 王副总饶有兴趣的回忆了江丰创业之初的历程,2005年夏天,姚博士带着20个集装箱的设备,同时带来多名外国专家和5项半导体靶材的核心技术,在余姚市创办了“江丰电子”,专业从事半导体溅射靶材的研发和产业化,决心让半导体产业的核心材料“溅射”出“中国制造”的光芒。姚博士刚回国的时候,中国还没有生产半导体工业用溅射靶材的先例,相关企业所使用的超高纯金属材料及溅射靶材全部依靠进口,市场完全被日本和美国的跨国公司所垄断。他和他的团队全身心投入艰苦的研发,并获得极大的成功,半导体溅射靶材性能和国外著名企业相当,成本却节省了15%-30%。2009年8月,江丰电子开始向“中芯国际”供货,产业化正式起步。企业收获了巨大的成功,但显然姚力军并没有把眼光局限在“江丰电子”的层面上,他的心中装着一个半导体材料世界,他要赋予“中国制造”新的内涵。几年来,作为国家科技部、发改委及工信部重点扶植的高新技术企业,江丰电子累计申请专利303项,其中发明专利255项,已授权专利132项,其中授权发明专利85项。先后承担并主持了国家“863”重大专项2项、国家“02”科技重大专项2项、国家发改委重大专项2项、国家工信部产业化项目1项,为国家科技和产业的发展作出了突出贡献。

同时江丰也非常注重企业文化和人才的培养,本刊记者发稿前得知,江丰LCD事业部总监王青松先生前两天生日时,姚董亲自书写了一张生日贺卡,除了表达对生日的祝福,并且感谢王总对江丰的付出,还提出了“共同创造一个伟大的公司”的美好愿景。我想身为每个江丰人,在这样的工作氛围中,都会有一份自豪感和责任感。

“引进一个人才,建立一个企业,进而带动一个产业的发展,这是领军人才的核心价值,而姚力军董事长当之无愧。”王副总自豪的说道。

公司还培养了一大批半导体用金属溅射靶材研发的专业技术人员,为国家累积贡献约10亿元人民币的产值,提供600人的稳定就业机会,目前公司已完成股份制改造,初步达到上市要求,并将于两年内在A股市场的创业板上市。

王副总说:“我们的目标是五年后在芯片关键材料行业跻身世界前三强,占有世界35%的市场份额,让企业在电子领域拥有享誉世界的名字。”

}

        东莞市瓦摩特光电材料有限公司是一家集真空镀膜材料开发、生产和销售于一体的高新科技型企业。公司集合国内外知名先进的

生产制造经验,为广大的真空镀膜行业供性能优异的真空溅射和蒸发镀膜材料:

        靶材外形种类有旋转靶,平面靶,多弧靶,靶材尺寸可根据客户的需要定制;为客户提供背板和靶材的金属化和帮定服务。 靶材主要适用于建筑玻璃,汽车玻璃,太阳能光伏,平面显示,五金装饰,光通讯,磁数据存储等行业

二氧化铪HfO2、氧化铪HfO、 一氧化硅SiO、二氧化钛TiO2、二氧化硅SiO2、二氧化铈CeO2、

三氧化二铝AL2O3\五氧化三钛TiO5、氧化镁MgF2、一氧化钛TiO、三氧化二钛Ti2O3、七氧化四钛Ti4O7、

二氧化锆ZrO2、五氧化二钽Ta2O5、三氧化二钇Y2O3、二氧化铪HfO2、三氧化二钪Sc2O3、氧化锌ZnO、

三氧化钨WO3、五氧化二铌Nb2O5、三氧化二钆Gd2O3

锆钛混合物、锆钽混合物、钛钽混合物、氧化铟/氧化锡混合物
硅Si、锗Ge、铬Cr、铝Al、钛粉Ti、金刚膜、防指纹膜

重长远发展、立足行业前端,不断推陈出新,持续满足国内外广大客户需求”为宗旨, 热情及时的向客户提供在生产、研发过程中所需的一切可靠性参数,为客户提供更加全 面、优质、高效的服务和支持。

}

东莞市欧莱溅射靶材有限公司属于欧莱集团旗下生产溅射靶材和蒸发材料的专业公司。欧莱集团下设欧莱靶材,热喷涂,高温合金, 难熔金属,先进陶瓷,粉末冶金,粉末等事业部或公司。欧莱集团一直致力于所有高性能材料的研发和生产,为您提供超值的高品质、高技术和优质的服务。

欧莱靶材已有10多年的靶材生产经验和美国的先进靶材生产技术、设备。目前 有3个工厂,厂房面积5万平方米,在苏州设有办事处,分别服务于华东和华北客户。

欧莱靶材为以下行业提供高质量的靶材:建筑与汽车 

}

我要回帖

更多关于 四大溅射靶材公司 的文章

更多推荐

版权声明:文章内容来源于网络,版权归原作者所有,如有侵权请点击这里与我们联系,我们将及时删除。

点击添加站长微信