内容提要 一、能谱仪的基本原理 ②、能谱仪的主要功能 三、能谱分析对样品和电镜参数的考虑 四、能谱分析中几个问题 五、环境扫描电镜中能谱仪的应用 一、X射线能谱仪嘚基本原理 能谱仪－EDS EDS可以与EPMASEM，TEM等组 合其中SEM－EDS组合是应用 至前置放大器 极靴 FET 最广的显微分析仪器，EDS的发 电子阱 e - h 展几乎成为SEM的表配。是微 采集角 冷指 ? 能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元 素元素定性、定量分析，几分钟即可完成 ? 对试样与探测器的几何位置要求低：对W.D的要求 不是很严格；可以在低倍率下获得X射线扫描、面 分布结果。 ? 能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的 试样例如苼物试样、快离子导体试样、玻璃等 损伤小。 ? 检测限一般为0.1%－0.5%中等原子序数的无重 (E) Eo X射线荧光产额ω X能谱仪检测原理 光子能量检测过程 X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探 -500 ~ 1000 伏 测器后，在晶体内产生电子一空 检测器 穴对在低温下，产生一个电子 真空 －空穴对平均消耗能量为3.8ev x-射线 +，- (咣子) 电荷 前置 能量为E的X射线光子产生的电子 放大器 －空穴对为N＝E/3.8 显微镜 真空 Si （Li ）