样品台 尺寸 4英寸可360度旋转 6英寸，可360度旋转 8英寸可360度旋转 12英寸，可360度旋转
Z轴行程 6mm（快速切换）/6mm（微调）
样品固定方式 真空吸附
背电极测试功能 有样品台电学独立悬空
針座平台 U型平台，多可放置6个针座 U型平台多可放置8个针座 U型平台，多可放置10个针座 U型平台多可放置12个针座
光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2渶寸*2英寸，Z轴：50.8mm
显微镜移动精度 1um
切换镜头方式 显微镜快速倾仰30度 注1
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
应用方向 芯片及LD/LED/PD测试PCB/封装夹具测試，射频测试等
可选附件 显微镜倾仰装置（倾仰30度）
显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件
样品台快速升降，微调升降装置选件
PCB/封装夹具测试选件
特点 1.显微镜龙门柱式设计可使显微镜在平面内移动。
2.显微镜可倾仰或气动升降便于更换物镜。
3.可升级做射频大电流方面嘚测试和激光修复应用。
4.同轴驱动卡盘移动精度高。

?¤?????????????

????????????????????¨??????