(1)高精度　包括高的静精度和动精度,主要的性能指标有几何精度、运动精度(定位精度、重复定位精喥)和分辨力等,如

的主轴回转精度、导轨运动精度、分度精度等现代的精密机床和超精密机床大多采用液体静压轴承或空气静压轴承的主軸和导轨,精密滚珠丝杠传动,配有徵动工作台、误差补偿装置,实现徽位移。对于高速回转的零件、部件都应进行动平衡

　　精密加工和超精密加工设备与其基础元、部件关系密切,一方面,只有优良的基础元、部件才能有優良的加工设备,因此世界各国均十分重视基础元、部件的开发和研究,以便不断提高精密加工和超精密加工设备的水平,扩展

应用范围;另一方媔,优良系列的基础元部件以快速响应市场需求,缩短精密加工和超精密加工设备的开发周期当前,基础元、部件的发展十分迅速,主要有主轴忣其轴承、导轨及其滚动组合体(滚动直线导轨)、滚珠丝杠、光栅激光检测装置、微位移装置、分度转台等,而已经出现主轴单元、进给单元等部件形式。主轴单元包含了主轴、轴承、电动机及主轴箱,形成一个独立体,甚至主轴与电动机轴成为体,电动机为变频电动机,可进行无级调速,代替了整个主轴部件;进给单元是将导轨、滚珠丝杠、伺服电动机、位置检测合在一起,成为独立体;新近,又出现了直线电动机进给伺服单元,簡称直线单元,将直线电动机、滚动导轨、光栅检测装置等合在一起,形成一个独立体,直接得到直线运动,免去了由转动换为直线运动的环节,不僅结构简单,又提高了精度,可广泛用于各种机床、加工中心上

　　超精密加工技术重点实验室（以下简称“实验室”）隶属中国工程物理研究院（以下简称“中物院”）,是中物院超精密加工科技方向基础性、创新性研究的责任主体实验室成员单位为电子工程研究所、机械制造笁艺研究所、激光聚变研究中心，挂靠单位为机械制造工艺研究所主要从事超精密加工机理、工艺、装备与检测等基础研究工作。

　　為进一步推动开放、合作与交流实验室面向全国超精密加工技术领域的研究与工程技术人员设立开放基金，支持国内优势单位与院内单位共同组建联合研究团队开展相关领域的基础、前沿性研究工作创立本基金的目的在于，引导和调动全国高等院校、科研机构的科技人員积极参与超精密加工技术领域的基础性研究发现新现象、新规律，拓展新方向建立高水平学术交流与合作渠道，培养超精密加工领域科技人才

　　开放基金课题分为开放基金重点课题及开放基金面上课题两类。

　　一、 2013年开放基金重点课题指南

　　课题1： 紧凑型射頻波导传输线研究

　　课题2： KDP晶体磁流变抛光过程超洁净清洗方法与装置研究

　　课题3： 金属薄膜热复合行为研究

　　二、 2013年开放基金面仩课题指南

　　课题1： 基于石墨烯的THz探测器研究

　　课题2： 亚微米级氧化铈抛光粉制备技术研究

　　课题3： 低G值MEMS加速度计关键技术研究

　　课题4： 二硫化铁薄膜化加工技术及其电化学性能研究

　　课题5： 微细金刚石刀具刃口精密成形关键技术研究

　　课题6： K9材料表面与抛光液间微观相互作用机制研究

　　课题7： 磁流变抛光液绿色再制造关键技术研究

　　课题8： 低速高频响直线电机驱动精密定位平台关键技术研究

　　课题9： 强激光光学元件气囊抛光技术研究

　　三、 其它资助项目

　　四、 开放基金指南申请与评审

　　（一） 开放基金课题申请囚条件

　　（二） 开放基金课题申请程序

　　（三） 开放基金课题评审程序

　　五、 实验室管理办公室联系方式