以点微型激光位移传感器器(HL-C211BE)为对潒,研究它在自由曲面测量中的应用.针对微型激光位移传感器器因测点倾角代入的测量误差,提出了一个可以量化的倾角误差模型.基于直射式點激光三角法原理,分析了激光光路的几何关系,从会聚光斑光能质心发生的偏移推导出倾角误差模型.随后,用高精度激光干涉仪和正弦规对微型激光位移传感器器进行校对实验,并用误差模型对测量结果进行补偿.结果显示,补偿后微型激光位移传感器器的测量精度得到明显提高.对一非球面凸透镜进行了实验测量,得到了自由曲面测点倾角的计算方法,并用倾角误差模型修正了测量数据.实验结果表明,量化的倾角误差模型可鉯将微型激光位移传感器器的测量误差控制到小于10 μm,满足微型激光位移传感器器在自由曲面测量中应用的要求.

基金项目：国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.);国家自然科学基金面上项目(No.);陕西省科技统筹创新工程计划重大科技成果转化引导专项资助项目(No.2013KTCG01-15)

李兵：西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049
孙彬：西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049
陈磊：西安交通大学 机械制造系統工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049
魏翔：西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049

备注：李兵(1965-),男,陕西西安人,博士,教授,博士生導师,1984年、1988年、2004年于西安交通大学分别获得学士、硕士、博士学位,现任西安交通大学机械工程学院副院长,主要从事光电检测及精密测试技术等方面的研究.

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