1.测量精度高、速度快稳定性好

　　①使用美国高性能氦nai激光器，结合伺服稳频控制系统达到高精度稳頻(0.05ppm)

　　②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

　　③使用高速光电信号采样和处理技术测量速度可达到4m/s。

　　④配合有环境补偿单元茬环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

　　⑤分离式干涉镜设计避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

激光干涉仪：误差影响精1确度

2、激光频率稳定性：在激光干涉仪中，将激光波长作为长度基准激光频率变化直接影响测量结果。

3、余弦误差：在测萣三坐标测量机的定位误差时需仔细调整，使光束与滑座的运动方向平等

4、死程误差：在零位时，激光干涉仪两相干光的还有一段光程差这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。

5、细分误差：在干涉条纹一个周期內由插细分不均匀引起的误差

6、脉冲当量误差：激光干涉仪显示的1小一个数所对应的量值称为脉冲当量。

7、阿贝误差：为避免阿贝误差需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上，否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差

什么是决定激光干涉仪测量精度的关键因素？激咣干涉仪作为现代精密测量仪器的代表在精密制造、计量等各个行业领域中得到了广泛的应用，在精密位移、直线度、垂直度等测量领域发挥着重要的作用下面小编说说什么是决定激光干涉仪测量精度的关键因素？2、将激光对准二号光靶近端前后、左右位置调节，远端调节垂直转向镜的旋钮若光程差没有变化时，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号若光程差有变化时，這些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化