MEMS轻型通信设备的射频开关研究与應用,mems开关,射频开关,射频通信,射频通信电路,射频通信电路答案,射频遥控开关,移动通信射频产品,通信用高频开关电源,通信开关电源

西北工业人学硕L学位论文 摘要 摘 偠 未来航空飞行器要求微型器件具有质量轻、体积小和功耗低等特点采用 MEMS技术制造的由微型器件阵列组成的具有自检测、自适应控制功能的灵巧蒙 皮可以很好地满足上述要求。因此基于MEMS技术的灵巧蒙皮研究已成为航空 主动气动控制领域的主要发展方向之一。本文就以用於实现三角翼边界层分离 点检测的面向灵巧蒙皮的微型剪应力传感器为对象展开研究 首先，结合空气动力学的边界层原理针对三角翼邊界层分离点检测在实 现主动气动控制方面的重要性，讨论了光学式、电容式和热敏式微型剪应力传 感器的测量原理和结构方案选取适匼加工条件的微型剪应力传感器样件。 在此基础上对其结构进行设计并详细讨论梳齿电容式微型剪应力传感器 的微细加工工艺流程，选擇了符合微型剪应力传感器工作要求的薄膜材料然 后利用有限元分析软件ansys做梁的一般步骤对梳齿电容式微型剪应力传感器的质量块模型進 行结构和流体耦合分析，得到梳齿质量块结构的应力分布和位移分布云图 最后，对热敏式微型剪应力传感器进行结构设计并对复杂表面微细加工 工艺进行修改和简化，制定适合国内加工水平的体微细加工j：艺方案在此基 础上，对热敏式微型剪应力传感器的阵列结构設计、连接材料选取以及微型剪 应力传感器的风洞试验进行了研究并用ansys做梁的一般步骤软件对热敏式微型剪应力传感 器的空腔薄膜结构進行热分析，得到空腔薄膜结构的温度分布云图 本论文的研究成果表明梳齿电容式和热敏式微型剪应力传感器对于灵巧蒙 皮的剪应力测量具有一定的实用价值。 关键词：微型剪应力传感器、边界层分离、工艺、结构、有限元分析 西北_【业人学倾I：学位论文 ABSTRACT ABSTRACT The