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扫描电子显微镜低真空模式的应鼡 １ ２ １ １ 许亚娟 陈剑峰 ，项 彬 宋子濂 　 （ 中国铁道科学研究院金属及化学研究所，北京 ； 公司（上海）上海 ） １． １０００８１２．ＦＥＩ ２０１２０３ 低真空模式是扫描电镜观察什么的一种新型观测模式，它的最大特点是可以对不导电样品直接 摘 要： 　 进行观察这样既避免了不导电样品表面由于电荷累积产生的假象，又省去了对样品表面进行导 电喷镀还有利于不导电样品其他信息的检测与分析。此外扫描电镜观察什么低真空模式还可以对低致密 度或多孔样品进行直接观察，这是高真空模式无法取代的 扫描电镜观察什么；低真空模式；应用；不导电样品；多孔样品 关键词： 中图分类号： ＋ 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ１１５．２１５．３ Ａ １００１?４０１２２０１１１２?０７８６?０４ 　　　 　　　 犃 犾犻犮犪狋犻狅狀狅犳狋犺犲犔狅狑犞犪犮狌狌犿犕狅犱犲犳狅狉犛犈犕 狆狆 １ ２ １ １ ， ， 犡犝犢犪?狌犪狀 犆犎犈犖犑犻犪狀?犳犲狀 犡犐犃犖犌犅犻狀 犛犗犖犌犣犻?犾犻犪狀 犼 犵 （ ， ； １．ＭｅｔａｌｓａｎｄＣｈｅｍｉｓｔｒＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅＣｈｉｎａＡｃａｄｅｍ ｏｆＲａｉｌｗａＳｃｉｅｎｃｅＢｅｉｉｎ １０００８１Ｃｈｉｎａ ｙ ｙ ｙ ｊｇ （ ）， ） ２．ＦＥＩＣｏｍ ａｎ Ｓｈａｎｈａｉ Ｓｈａｎｈａｉ２０１２０３Ｃｈｉｎａ ｐ ｙ ｇ ｇ ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｌｏｗｖａｃｕｕｍｍｏｄｅｉｓａｌａｔｅ?ｍｏｄｅｌｋｉｎｄｏｆｏｂｓｅｒｖｉｎ ａｔｔｅｒｎｆｏｒＳＥＭ．Ｉｔｓｂｉｅｓｔｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｉｓ ｇｐ ｇｇ ， ｄｉｒｅｃｔｏｂｓｅｒｖａｔｉｏｎｏｆｎｏｎ?ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｓａｍ ｌｅｓ．Ｉｎｓｕｃｈａｗａ ｅｉｔｈｅｒｔｈｅ ｓｅｕｄｏｉｍａｅｃａｕｓｅｄｂ ｅｌｅｃｔｒｉｃｃｈａｒｅ ｐ ｙ ｐ ｇ ｙ ｇ ａｃｃｕｍｕｌａｔｉｏｎｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆｎｏｎ?ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｓａｍ ｌｅｓｗａｓａｖｏｉｄｅｄｏｒｔｈｅｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｃｏａｔｉｎ ｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆｔｈｅ ｐ ｇ