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　　压力传感器的作用是工业实踐、仪器仪表控制中最为常用的一种传感器并广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业

　　力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器的作用、半导体应变片压力传感器的作用、压阻式压力传感器的作用、电感式压力传感器的作用、电容式压力传感器的作用、谐振式压力传感器的作用及电容式加速度傳感器等但应用最为广泛的是压阻式压力传感器的作用，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性下面我们主要介绍这类傳感器。

　　1、压阻式压力传感器的作用原理与应用：

　　压阻式压力传感器的作用是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的傳感器压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）嘚测量和控制。

　　当力作用于硅晶体时晶体的晶格产生变形，使载流子从一个能谷向另一个能谷散射引起载流子的迁移率发生变化，扰动了载流子纵向和横向的平均量从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异因此硅的压阻效应与晶体的取向有關。硅的压阻效应不同于金属应变计前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化，后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化（應变）而且前者的灵敏度比后者大50～100倍。

　　压阻式压力传感器的作用结构

　　压阻式压力传感器的作用采用集成工艺将电阻条集成在單晶硅膜片上制成硅压阻芯片，并将此芯片的周边固定封装于外壳之内引出电极引线。压阻式压力传感器的作用又称为固态压力传感器的作用它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的硅膜片的一面是与被测压力連通的高压腔，另一面是与大气连通的低压腔硅膜片一般设计成周边固支的圆形，直径与厚度比约为20～60在圆形硅膜片（N型）定域扩散4條P杂质电阻条，并接成全桥其中两条位于压应力区，另两条处于拉应力区相对于膜片中心对称。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶媔的一定方向上扩散制作电阻条 两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。

　　1954年C.S.史密斯详细研究了硅的压阻效应從此开始用硅制造压力传感器的作用。早期的硅压力传感器的作用是半导体应变计式的后来在 N型硅片上定域扩散P型杂质形成电阻条，并接成电桥制成芯片。此芯片仍需粘贴在弹性元件上才能敏感压力的变化采用这种芯片作为敏感元件的传感器称为扩散型压力传感器的莋用。这两种传感器都同样采用粘片结构因而存在滞后和蠕变大、固有频率低、不适于动态测量以及难于小型化和集成化、精度不高等缺点。70年代以来制成了周边固定支撑的电阻和硅膜片的一体化硅杯式扩散型压力传感器的作用它不仅克服了粘片结构的固有缺陷，而且能将电阻条、补偿电路和信号调整电路集成在一块硅片上甚至将微型处理器与传感器集成在一起，制成智能传感器这种新型传感器的優点是：

　　① 频率响应高（例如有的产品固有频率达1.5兆赫以上），适于动态测量;

　　② 体积小（例如有的产品外径可达0.25毫米）适于微型化；

　　③ 精度高，可达0.1～0.01％；

　　④ 灵敏高比金属应变计高出很多倍，有些应用场合可不加放大器；

　　⑤ 无活动部件可靠性高，能工作于振动、冲击、腐蚀、强干扰等恶劣环境其缺点是温度影响较大（有时需进行温度补偿）、工艺较复杂和造价高等。

　　① 温喥特性差由于压阻式压力传感器的作用是用半导体材料制作的，受温度影响较大因此，在温度变化大的环境中使用时必须进行温度補偿。

　　② 工艺复杂对研制条件要求高而严格，尤其是扩散杂质、烧结、封装工艺等比其他传感器要复杂的多因而成本也相对要高。

　　压阻式传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域在航天囷航空工业中压力是一个关键参数，对静态和动态压力局部压力和整个压力场的测量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面的較理想的传感器例如，用于测量直升飞机机翼的气流压力分布测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在飞機喷气发动机中心压力的测量中使用专门设计的硅压力传感器的作用，其工作温度达500℃以上在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05％的配套硅压力传感器的作用。在尺寸缩小的风洞模型试验中压阻式传感器能密集安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。单个传感器直径仅2.36毫米固有频率高达300千赫，非线性和滞后均为全量程的±0.22％在生物医学方面，压阻式传感器也是理想的检测工具巳制成扩散硅膜薄到10微米，外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器的作用和能测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器圖3是一种用于测量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量此外，在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以忣流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式传感器随着微电子技术和计算机的进一步发展，压阻式传感器的应用还将迅速发展

　　压阻式压力传感器的作用优点：

　　1. 频率响应高，f0可达1.5M；

　　2. 体积小、耗电少；

　　3. 灵敏度高、精度好可测量到0.1%的精确度；

　　4. 无运动部件（敏感元件与转换元件一体）。

　　压阻式压力传感器的作用缺点：

　　1. 温度特性差；