626A 绝对压力传感器,满量程范围:0.1–1000 Torr,精度:读数值的百分之0.15 问:这句话什么意思

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MKS628B压力计 真空计 压力传感器的详细描述:
Baratron(R) 薄膜电容式压力传感器 (工作在室温)
622A 绝对压力传感器,满量程范围:1 – 1000 Torr,精度:读数值的百分之0.15
626A 绝对压力传感器,满量程范围:0.1–1000 Torr,精度:读数值的百分之0.15
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i-Baratron(R) DMA 带DeviceNet(TM) 通讯口的数字绝对压力传感器, 满量程范围: 0.1 – 1000
Torr,精度:读数值的百分之0.15。
计量单位:台
产地:美国
交货周期:6周
保期:一年
验收标准:原厂标准
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&&& 万机仪器(上海)有限公司是美国万机仪器有限公司 (MKS Instruments, Inc.) 在中国的全资子公司。位于上海金桥出口加工区的销售和技术服务中心,为迅速发展的中国半导体、太阳能电池、LED和真空工业提供一流的产品和技术服务。公司在上海外高桥保税区还设有保税仓库。
&&& MKS 是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一,其产品广泛地应用于各种半导体器件、平板显示器、太阳能电池、LED、光学储存介质、玻璃镀膜、光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。MKS前瞻性的创新开发,推动其产品一直处于全球技术领先地位。MKS的电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术,改善了设备完好率和产品成品率,提高了产量和产品性能。MKS产品起源于我们的压力和流量测量与控制核心技术,延伸到材料递送、气体成份分析、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术。
&&& MKS 成立于1961年,总部位于美国东部波士顿以北的Andover。近三千名员工工作在全球各地十五个分公司、七个研究中心、十个生产基地(其中中国深圳的ENI电源工厂拥有近500员工)及140多个销售办事处和30多个技术服务中心。公司在纳斯达克上市,股票代码:MKSI。
&&& MKS 拥有完整的技术及产品资源,无论是产品的研发设计、生产管理还是客户支持服务,都能快速满足客户的各种特殊需求。MKS主要提供有:气体压力及流量测量与控制、射频/直流/微波电源发生器及测量工具、氟原子/臭氧反应气体发生器、真空产品、气体分析仪及信息和控制技术等产品。
苏州美欧机电有限公司,专业销售美国MKS不锈钢真空管道和连接件.包括:等离子体电源及反应气体发生器 Power & Reactive Gas反应气体发生器ASTRON(R)系列远程等离子体源 基于NF3等含氟气体电离,产生活性气体,广泛地应用于CVD等工艺腔清洗,它具有功率大,效率高等特点。产品有:
o&ASTRON(R)i AX7670 (3升) o&ASTRON(R)ex AX7685 (6升) o&ASTRON(R)hf-s AX7645 (15升,分体式) o&ASTRON(R)hf AX7640 (15升) o&ASTRON(R)hf+ AX7635 (22升) o&ASTRON(R)hf++ AX7667 (30升)
等离子体电源用于晶圆工艺
ASTeX(R)远程等离子体源 适用于O2、N2、H2、H2O等气体,广泛应用于CVD,ETCH,去胶等晶圆工艺。o&R*evolution(R) AX7690 集成远程等离子体源用于晶圆工艺 o&微波等离子体源 o&AX2600 集成等离子体系统 o&SmartPower(R) AX2500系列微波电源 o&AX3060 SmartMatch 微波匹配器 o&AX7610 下游等离子体源
臭氧发生器
SEMOZON(R) 臭氧发生器及集成系统o&SEMOZON(R) AX8407/AX8407C高浓度、高流量臭氧发生器/紧凑型臭氧发生器 o&O3MEGA(R) AX8561集成电子流量、压力控制的臭氧发生器系统 o&SEMOZON(R) AX8550 二通道臭氧发生器集成系统 o&SEMOZON(R) AX8555 四通道臭氧发生器集成系统 o&SEMOZON(R) AX8575 多通道臭氧发生器集成系统,可集成冷却水交换器。
LIQUOZON(R)臭氧水循环系统广泛应用于CVD,去胶和湿法清洗等工艺。
o&LIQUOZON(R) Smart 臭氧水递送系统。提供高浓度、大流量臭氧水 o&LIQUOZON(R) Single 臭氧水递送系统。紧凑型设计,适合于单片硅片清洗系统 o&LIQUOZON(R) LoopO3 臭氧水循环递送系统。紧凑型设计,带循环水泵,主要用于硅片清洗工艺 o&LIQUOZON(R) PrimO3 臭氧水循环递送系统。高浓度、大流量,带循环水泵,主要用于硅片清洗工艺 o&LIQUOZON(R) Ultra 臭氧水循环递送系统。主要用于生物、制药行业消毒
射频功率电源
ENI(R) 提供高可靠的固态电源,其频率从2MHz到60MHz,功率从3百瓦至13千瓦,还可选自动频率调谐,广泛地应用于Etch,CVD和PVD等工艺。o&中频射频功率电源(2MHz) o&NOVA(R)系列,功率为2.5和5千瓦,自动频率调谐可选。 o&Spectrum(R)系列,功率为5和11千瓦,自动频率调谐可选。
&高频射频功率电源(13.56MHz) o&elite(TM)系列风冷电源,功率为300、600和750瓦。 o&GHW系列电源,功率为1.25、2.5和5千瓦,自动频率调谐可选。 o&Spectrum(R)系列电源,功率为3千瓦,自动频率调谐可选。 o&SurePower(R)系列电源,功率为3.5、5.5、6.5、10.5和13千瓦,自动频率调谐可选。 &超高频射频功率电源(40.68-60MHz): o&GEW系列电源,功率为3.5和5千瓦,40.68MHz自动频率调谐可选。 o&LVF系列电源,功率为3.5千瓦,60MHz自动频率调谐可选。
直流/脉冲功率电源
ENI(R)直流/脉冲电源主要应用于半导体,光电器件,磁盘,平板显示器等工业中的镀膜工艺。o&Optima(R)系列直流电源,其功率为5、10、20、30、40、60和80千瓦。 o&RPDG系列脉冲直流电源,其功率为5、10和20千瓦,频率从50至250KHz,占空比从0至40%。
ENI射频阻抗匹配器
o&MWH-100,13.56MHz,10千瓦网络射频阻抗匹配器。 o&MWMHz,3500瓦网络射频阻抗匹配器。 o&MWMHz,2500瓦网络射频阻抗匹配器。 o&MWD-25LD,13.56MHz,2500瓦网络射频阻抗匹配器。 o&MWH-5,13.56MHz,500瓦网络射频阻抗匹配器。
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